功能硬质薄膜涂层材料的制备、表征及应用 利用离子束、电弧、磁控溅射等PVD/CVD技术可控制备各种硬质薄膜和涂层，包括碳膜（类金刚石DLC薄膜，金属掺杂类金刚石纳米复合Me-DLC薄膜等）、碳化类薄膜(如CrC、TiC、SiC等)、氮化类薄膜（如Al-N、Ti-C、Cr-N）、以及多层复合薄膜涂层等。同时，研究硬质薄膜和涂层在工具模具表面摩擦磨损、轻合金表面腐蚀防护、微电子器件（电致阻变存储）、光学减反膜、色彩涂层方面的应用。